High-power Laser Mirror 高耐力レーザミラー（標準仕様）

High-power Laser Mirror 高耐力レーザミラー（標準仕様）

特徴　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　製品のカタログ
半導体リペア装置・レーザ加工機向けで、誘電体多層膜を反射膜に採用し、特定の波長を高反射させるミラーです。このレーザミラーは光の吸収・散乱が抑えられ特定波長において反射率が99%～99.99%以上と高い反射率を実現します。ご要求に合わせ最適なプロセスを選択することにより、高エネルギー耐力が要求される　パーシャルミラー、共振ミラー等、カスタムでの製作対応も可能です。

レーザミラー標準仕様

品番	寸法	公差	波長範囲	入射角	仕様
LM-1.064	φ25×6.0t	外径　+0/-0.2 厚み　±0.1	1064nm	45deg	R＞99%
LMW-0.532 /1.064	φ25×6.0t	外径　+0/-0.2 厚み　±0.1	532/1064nm	45deg	R＞98/99%
LMW-0.532 /0.633	φ25×6.0t	外径　+0/-0.2 厚み　±0.1	532/633nm	45deg	R＞98/40%
LMT-0.532 /0.65/1.064	φ25×6.0t	外径　+0/-0.2 厚み　±0.1	532/650 /1064nm	45deg	R＞98% /90%/99%
LM-0.355	φ25×6.0t	外径　+0/-0.2 厚み　±0.1	355nm	45deg	R＞99%

※有効範囲φ23以上、基板はBK7、石英より選択可能

LM-1.064
LMW-0.532/1.064
LMW-0.532/0.633
LMT-0.532/0.65/1.064
LM-0.355

レーザ耐力評価試験条件

パルス幅	10ns (1064nm)
	8ns (532nm)
	9ns (355nm)
照射角度	45deg
偏光	P
評価方法	1-on-1
ビームサイズ (1/e2)	横 470mm，縦 480mm (1064nm)
	横 264mm，縦 260mm (532nm)
	横 200mm，縦 200mm (355nm)

レーザ耐力評価試験結果

品番	波長	パルス幅 (ns)	DTp (J/cm2)
LM-1.064	1064nm	10	294
LMW-0.532/1.064	532nm 1064nm	8 10	31 144
LMW-0.532/0.633	532nm	8	38
LMT-0.532/0.65/1.064	532nm	8	45
LM-0.355	355nm	9	28

（※代表測定結果）

製品のカタログ
掲載している製品形状、特性は一例です。お望みの仕様をご連絡下さい。