半導体ウェハへ多層膜コート

  • 半導体ウェハへ直接多層膜コートが可能になりますので、光学フィルタをアセンブリする必要がありません。

  • 半導体ウェハへの影響を低減するため、低温成膜をします

  • 高信頼性膜を実現します。

  • ご要望の成膜厚み(物理膜厚)で設計して成膜可能ですので、ご要望の光学特性と成膜厚みをご連絡下さい。

  • 当社では、様々な用途に合わせてカスタマイズされた豊富な実績がございますので、ご希望の仕様がございましたらぜひお問合せください。

 

IR Cut Filter Type