半導体ウェハへ多層膜コート

半導体ウェハへ多層膜コート

  • 半導体ウェハへ直接多層膜コートが可能になりますので、光学フィルタをアセンブリする必要がありません。

  • 半導体ウェハへの影響を低減するため、低温成膜をします。

  • 高信頼性膜を実現します。

  • ご要望の成膜厚み（物理膜厚）で設計して成膜可能ですので、ご要望の光学特性と成膜厚みをご連絡下さい。

  • 当社では、様々な用途に合わせてカスタマイズされた豊富な実績がございますので、ご希望の仕様がございましたらぜひお問合せください。

 

IR Cut Filter Type

ロングパスフィルタ(Long Pass Filter)

バンドパスフィルタ(Band Pass Filter)

ノッチフィルタ/バンドストップフィルタ(Notch filter/Band Stop Filter)

赤外線透過フィルタ

ショートパスフィルタ(Short Pass Filter)

半導体ウェハへ多層膜コート

SWIR用広帯域フィルタ

無偏光ビームスプリッタ(N-PBS)

低角度依存バンドパスフィルタ(Low angle-dependent bandpass filter)

UV/IRカットフィルタ

偏光ビームスプリッタ(PBS)

レーザミラー(Laser Mirror)

マルチバンドパスフィルタ(Multiple Band Pass Filter)

ポリイミドフィルタ(Polymer Filter)

ダイクロイックミラー

ダイクロイックフィルタ

コールドミラー

エタロンフィルタ(Etalon Filter)

UVフィルタ(UV Filter)

RGBフィルタ

NDフィルタ(Neutral Density Filter)

IRカットフィルタ(IR Cut Filter)

干渉フィルタ(バンドパスフィルタ)

高耐力レーザミラー(Laser Mirror)

蛍光分析用(励起・蛍光)フィルタ/ダイクロイックミラー

蛍光分析用ダイクロイックフィルタ

樹脂NDフィルタ

反射防止膜ARコーティング(AR Coating)